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超临界二氧化碳清洗系列
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SFE-35型超临界二氧化碳超声清洗系统
SFE-35型超临界二氧化碳超声清洗系统 超临界二氧化碳无损伤清洗设备。应用此设备对硅片进行清洗的颗粒明显减少,且平均粒径小于传统清洗的粒径。相对用等离子法清洗,该方法不会对硅片造成损伤,同时可减少工艺步骤,节省时间,提高工作效率。
时间:
2021-04-07
型号:
SFE-35型
厂商性质:
生产厂家
浏览量:
1195
SFE-1型超临界二氧化碳清洗系统
SFE-1型超临界二氧化碳清洗系统 超临界二氧化碳无损伤清洗设备。应用此设备对硅片进行清洗的颗粒明显减少,且平均粒径小于传统清洗的粒径。相对用等离子法清洗,该方法不会对硅片造成损伤,同时可减少工艺步骤,节省时间,提高工作效率。
时间:
2021-04-07
型号:
SFE-1型
厂商性质:
生产厂家
浏览量:
932
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